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切割系统

设备归属 : 微纳平台

设备管理员联系方式 :

王春柱,电话:0755-88018969 ,邮箱:wangcz@sustc.edu.cn

收费标准 : 校内 :    校外 :   

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设备介绍 :

设备品牌:

Veeco optium ADS-800

设备介绍:
Optium ADS-800切割系统可对各种材料进行快速、高精度地切割。它为LED器件、太阳能电池、微电子和光电子的广泛应用提供了高产能切割的解决方案。
技术参数:
1.主轴功率:提供2.4千瓦或者3.0千瓦可供选择精密运行稳定的主轴,最高转速为30000RPM。
2.刀片尺寸:可根据被切物料和主轴型号选择直径51-127mm刀片。
3.刀片数量:在一次切割时安装多块刀片,提高工作效率。
4.加工物件尺寸:可加工最大直径为200mm的物件,工作行程约230mm。
5.机械导轨精度:采用精密滚珠丝杆作为导轨,精度达0.1um。
6.切割移动参数:切割可移动距离为290mm,提供最大300mm/sec的移动速度。
7.步进移动参数:步进距离为230mm,最大移动速度150mm/sec,误差小于3.0um/200mm或者1.0um/200mm(可供选择)。
8.切割深度参数:最大切割深度为50mm,最大切割速度可达75mm/sec。
9.切割角度参数:360度可旋转工作台,最大旋转速度为120RPM,精度为+/-1.6arc sec,驱动方式为机械直接驱动。