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扫描电子显微镜及辅助设备

设备归属 : 成像平台

设备管理员联系方式 :

顾瑞 88015497 gur@sustc.edu.cn

收费标准 : 校内 :   150元/小时(工作时间),100元/小时(非工作时间) 校外 :   500元/小时(非盈利机构),1000元/小时(盈利机构)

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设备介绍 :

设备品牌:

Zeiss Merlin

1.         扫描电子显微镜 (设备品牌:ZEISS 型号:Merlin

1.1          电子枪:肖特基热场发射电子枪

1.2          电子光学分辨率:0.8nm @ 15KV

1.3          放大倍率:×12 ×2,000,000

1.4          束流强度:5pA20nA

1.5          加速电压: 0.02 to 30kV ( 10V steps)

1.6          最大样品直径:200mm径以下

1.7          镜筒设计满足铁磁等磁性材料的方便观测

1.8          镜筒内In-lens 环型SE探测器, EsB能量选择式(带过滤栅网0-1500V)高衬度背散射探测器, 样品室独立的二次电子探测器,AsB4角度选择式背散射电子探测器。

1.9          透射电子探测器(STEM),含明、暗场模式。

1.10       全无油真空系统;样品室真空度:高真空模式优于

1.11       样品室的宽度和内部直径不小于330nm,高度不小于270mm.样品台为五轴优中心全自动样品台,移动范围指标:130mmX方向),130mm(Y方向), 50mm(Z方向)-370°(倾斜),360°(旋转)。

1.12       配置样品交换室和等离子清洗装置

2           能谱仪(EDS(设备品牌:EDAX 型号:Octane  Pro

2.1          能谱探头类型:场效应管(FET)内置的高速SDD芯片,晶体有效检测面积10mm2, 内置脉冲处理器;

2.2          可分析元素范围:Be4U92

2.3          能量分辨率(Mn-Ka):优于127eV

2.4          具备点、线、面扫描分析功能

3           波谱仪(WDS)(设备品牌:EDAX 型号:LEXS

3.1          光学系统:采用结构紧凑,采集高效的平行光谱仪;衍射晶体数目:5块晶体,并可同时安装在谱仪中

3.2          测量能量范围:100 2,400eV

3.3          分辨率:在整个能量范围内,优于20eV

3.4          探头无需冷却

3.5          与能谱(EDS)完全集成,可以同时进行EDSWDS数据的采集

4           电子背散射衍射仪(EBSD)(设备品牌:EDAX 型号:Digiview4

4.1          EBSD探头:百万像素(1392 X 1040 )高分辨率数字CCD相机,马达驱动,配备接触传感器以防相机碰撞。

4.2          指标化速度:150/秒,在2nA的束流条件下用镍试样测量,并保证99%的标定成功率。

4.3          由电子衍射得到的EBSD专用数据库:300个相结构;支持所有主要的第三方数据库,具有人工建立数据库功能;

5         喷涂镀膜仪 设备品牌:Quorum 型号:Q150TES

5.1          工作腔室:165mm(外径)×127mm(高)

5.2          真空系统:旋转机械泵+涡轮分子泵

5.3          极限真空度:10-5mbar量级

5.4          气体需求:溅射工作气体为氮气

5.5          靶材:配置CrPt靶各一个,碳制品为高纯度碳棒