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四探针

设备归属 : 成像平台

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设备介绍 :

使用本仪器时,由于不需要人为进行几何边界条件和探针间距的修正,因而对各种形状的簿膜材料及片状材料有广泛的适用性。
仪器适用于测量片状半导体材料电阻率以及硅扩散层、离子注入层、异型外延层等半导体器件和液晶玻璃镀膜层、电热膜……等导电膜的方块电阻(或称簿层电阻和面电阻)。
仪器由四探针测试仪主机、探针测试台、四探针探头、计算机等部分组成,通过RTS-9双电测四探针软件测试系统对四探针测试仪主机发出控制指令来获得用户需要的测量数据,主机在接收到指令后按照测量程序进行测量(如四探针头探头电流探针和电压探针的组合变换测量、电流量程切换、采集测量数据回主机等),并把采集到的数据反馈回计算机中加以运算、分析,然后把测试数据以表格,图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看,还可以把采集到的数据输出到Excel中,让用户对数据进行各种数据分析。