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光谱椭偏仪

设备归属 : 微纳平台

设备管理员联系方式 :

孙晓宇,88015498,sunxy@sustc.edu.cn

收费标准 : 校内 :    校外 :   

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设备介绍 :

1)Scanning Spectroscopic Phase Modulated Ellipsometer: 245-2100 nm      
2)iHR320 monochromator with twin detectors for FUV -Visible -NIR range                                                        
3)Microspot : 50um X 150um                                      
4)75W Xeon light source                                             
5)反射式光学系统(聚焦样品),三种微光斑可选