氧化扩散炉 您所在的位置:

氧化扩散炉

设备归属 : 微纳平台

设备管理员联系方式 :

孙晓宇,88015498,sunxy@sustc.edu.cn

收费标准 : 校内 :    校外 :   

阅读资料

设备介绍 :

可进行湿法和干法氧化工艺,用于微纳器件、微机电系统、生物芯片以及光学器件等先进工艺的开发和研究。