聚焦离子/电子双束系统 您所在的位置:

聚焦离子/电子双束系统

设备归属 : 成像平台

设备管理员联系方式 :

邱杨 qiuy@sustc.edu.cn 电话号码 +86(0)755-88015440

收费标准 : 校内 :   200元/小时(非工作时间自行测试);300元/小时(工作时间自行测试);500元/小时(工作时间需 校外 :   1000元/小时(工作时间非盈利机构);2000元/小时(工作时间盈利机构)

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设备介绍 :

设备品牌:

FEI Helios Nanolab 600i

系统技术参数:

1 离子束系统:

1.1 离子源种类:液态Ga离子源;

1.2交叉点分辨率:≤ 4.0nm @ 30kV (采用Multi-edge平均值法测量),≤ 2.5nm @ 30kV (采用selective edge最佳值法测量);

1.3加速电压:最低加速电压500V, 最高加速电压为30 kV;

1.4束流强度最大可达65nA ;束流密度最大值可达60A/cm2;

1.5 拥有独立的分离式气体注入系统,可重新配置;具备金属沉积系统,可在离子束、电子束诱导下进行Pt等金属的沉积;配有C沉积、SCM金属增强刻蚀、XeF2绝缘体增强刻蚀;每种气体配备独立的气体注入器,防止不同气体交叉污染。1.5 具备可直接导入Bitmap/CAD文件,按照预先设定的间距,进行离子束沉积,加工复杂图形的能力;

1.6 软件具备切片的三维重构能力;

2 电子束技术要求

2.1 电子枪类型:肖特基(ZrO/W)场发射灯丝;

2.2 分辨率:在最佳工作距离:≤ 0.9nm @ 15kV;≤ 1.4nm @ 1kV;在束交叉点分辨率:≤ 1.0nm @ 15kV;≤ 1.6nm @ 5kV ;≤ 2.5nm @ 1kV;在束交叉点和大倾转角时,能有优异的图像质量(样品加工后,能快速切换到电子束检查与成像);

2.3 束交叉点工作距离:4-5mm;

2.4 加速电压:加速电压200V-30KV;束流强度:最大束流22nA;

2.5 可用探头:二次电子探测器、高分辨背散射电子探测器;

3 样品台:

3.1 五轴马达驱动样品台;样品室红外CCD相机;

3.2 X、Y方向移动范围不低于150mm,压电陶瓷驱动,回复精度小于1.0微米;Z方向移动范围不低于10mm,可绕Z轴旋转任意角度 (360度) ,旋转为压电陶瓷驱动;倾角范围包含 -10至60度,移动精度 (50至54度):0.1度;X、Y方向最小移动步长100nm,水平漂移小于10nm/minute;

最大样品直径不大于150mm;

3.3 最大样品高度:样品台到束交叉点不高于50mm;

4 真空系统

4.1 机械干泵;磁悬浮涡轮分子泵;四个离子泵;

4.2 样品室真空度:<2.6´10-6mBar (连续24小时抽真空后)。

5 冷却水系统