平台简介 您所在的位置:

       微纳加工平台有总面积达1600平米百、千级洁净间,20多台先进微纳加工工艺设备及其工艺,以及一支成熟的7人工程技术团队,为全校科研、教学工作提供微纳加工技术服务和支持。

    本平台设备先进齐全,包括NanoBeam电子束曝光机,SUSS接触式紫外曝光机,与此配套的SUSS自动涂胶机;镀膜设备包括Picosun原子层沉积仪(ALD),Lesker多源集成溅射仪,电子束蒸镀以及双腔磁控溅射设备;刻蚀设备包括北方微等离子体(ICP)刻蚀机,创世威纳RIE设备。 还有快速退火(RTP)仪,LPCV炉管、马弗炉、清洗台、涂胶机、烘箱等工艺设备。量测设备包括椭偏仪,台式SEM、4探针以及eTester等。

    本微纳加工平台技术实力雄厚,建立了薄膜沉积、光刻、刻蚀、集成工艺等工艺菜单库。专业团队对设备进行日常维护,确保设备和工艺稳定可靠,并根据平台中、长期技术发展路线图持续开发新工艺技术,供客户选择使用。

    本微纳加工平台工艺设备和技术可用于进行(1)微纳尺度先进电子器件开发研究;(2)各类传感器和MEMS加工;(3)第三代半导体功率器件研发;(4)新型低维电子材料的原子尺度生长和制备等等。

    客户可网上预约各类单工艺服务(具体服务和收费详见设备介绍)。对于经常使用的客户我们给予超级用户资格,可独立操作设备。欢迎建立合作模式,对重大科研项目和有广泛应用潜力的先进器件和产品进行联合攻关。


科研团队需要项目合作和支持时与平台负责人 瞿学选老师联系,

电话:88018914,邮箱 quxx@sustc.edu.cn


微纳平台具体设备与工艺宣传册欢迎下载。