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Lesker多源集成溅射设备

品牌型号 : Lesker Lab18

设备描述 : 具备四靶位,可在6英寸以下尺寸衬底上进行各种金属及非金属化合物薄膜磁控溅射镀膜,例如Al、Ni、Ta、Ti、Au、Pt、TiN、AlN、SiN、Al2O3、SiO2等 ...