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电子束曝光机

品牌型号 : Nanobeam

设备描述 : Nanobeam 电子束曝光机使用加速电子束在涂有电子束胶的晶片上进行矢量扫描式曝光,以形成定义的纳米尺寸图形。

探针台

设备描述 : 探针台

光谱椭偏仪

设备描述 : 1)Scanning Spectroscopic Phase Modulated Ellipsometer: 245-2100 nm 2)iHR320 monochromator with twin detectors for FUV -Visible -NIR range ...

RTP

设备描述 : 法国Annealsys公司的快速退火处理设备,可在多种气氛下对样品进行快速热退火处理。

清洗槽

设备描述 : 清洗槽